制御実験　7 試験45

ラテラル支持機構の横ずれ計測２

前回の試験（こちら）の続きです。

下農さんのシミュレータで出された許容範囲は、

• セグメント横ずれ：傾きで補正可能（補正しなければ 10um）
• セグメント回転：0.07度（頂点位置で 0.6mm）

前回の試験から、更に以下の変更を加えました。

• 外周セグメントの位置をグローブからの絶対位置で決まるように、治具を用いて設置。
• 外周セグメントと支持機構の接触部分が球になっている。
  

架台を3回往復させて(倒す->起こす->倒す->…)、変化量と再現性を比べました。
今回の試験では、外周セグメントとの相対位置を測定しています。

各indexはセンサの番号(色は上記の配置を参照)と最初のカウント値。
横軸は測定時間、縦軸はカウント値の変化を距離に換算した値。
#1: 1 cnt = (19+66)/2 nm
#2: 1 cnt = (17+66)/2 nm
#3: 1 cnt = (15+17)/2 nm
(こちらを参考にした)。 カウントの変化量が大きいのでそれぞれの平均をとっている。

倒した時、起した時の再現性は次のようになりました。
　

左が倒した時、右が起こした時変化量です。それぞれ該当する時間に灰色の影を付けています
横軸は測定時間、縦軸はカウント値の変化を距離に換算(左：倒した時、右：起こした時)。
#1: 1 cnt = 66 nm　|　19 nm
#2: 1 cnt = 66 nm　|　17 nm
#3: 1 cnt = 17 nm　|　15 nm

1番、2番のセンサ(並進)については変化量、再現性ともに前回の試験と同程度ですが、 3番のセンサ(回転)については変化量が1/3になり、再現性については同程度となりました。