フルストローク試験で出ている『こぶ』について調査しています。
『こぶ』の特徴は
フルストローク試験でみられる「こぶ」のような形状はありません。
しかし、80000カウント付近でうねりがみられます。
それぞれ、
y = a + b /(1 - exp(c * x - d))
でフィットしたときのパラメータは以下のようになりました。
センサ | a | b | c | d |
---|---|---|---|---|
#1 | 20051.5 | 29300.4 | 1.58424e-06 | 2.4997 |
#2 | 2848.41 | 47710.6 | 2.04017e-06 | 3.34982 |
以下の図は、横軸がパルス、縦軸がセンサのカウント値です。
(左から内周、外周、エッジセンサ)
センサそのものや、センサ+アクチュエータでは『こぶ』に相当する特徴は見られません。
しかし、研削機で調べた時と同じように、80000カウント付近でうねりが見られます。
どのセンサでも同じ位置にうねりがあります。
センサの特徴でないならば、アクチュエータの特性の可能性が高いです。
それぞれ、
y = a + b /(1 - exp(c * x - d))
でフィットしたときのパラメータは以下のようになりました。
センサ | a | b | c | d |
---|---|---|---|---|
内周 #1 | 25283.2 | 23466.1 | 2.44039e-05 | 1.77122 |
内周 #2 | 23293.1 | 25826.1 | 2.61473e-05 | 1.90321 |
内周 #3 | 25218.5 | 23693.6 | 2.44574e-05 | 1.77959 |
外周 #1 | 24629.7 | 24315.2 | 2.49752e-05 | 1.81684 |
外周 #2 | 23411.6 | 25536.9 | 2.60125e-05 | 1.89385 |
外周 #3 | 23686.1 | 25232.9 | 2.57548e-05 | 1.87539 |
エッジ #1 | 24532.4 | 24575.1 | 2.50582e-05 | 1.82501 |
エッジ #2 | 24838.9 | 24254.5 | 2.44121e-05 | 1.78395 |
更に0.2umのシムを挟んでアクチュエータが駆動する場所を変え(センサのカウント値は両者で同じ範囲)、うねりがどうなるかを調べました。
うねりの位置は変わらなかったので、うねりはセンサの特性のようです。
以下の図は、横軸がパルス、縦軸がセンサのカウント値です。
(左から内周、外周)
センサそのものや、センサ+アクチュエータでは『こぶ』に相当する特徴は見られません。
アクチュエータ | a | b | c | d |
---|---|---|---|---|
内周 #1 | 19144.1 | 30047 | 2.63466e-05 | 5.24816 |
内周 #2 | 21025.9 | 28140.5 | 2.57904e-05 | 5.13179 |
内周 #3 | 24846.7 | 24245 | 2.43255e-05 | 4.81676 |
外周 #1 | 24256.1 | 24846.8 | 2.45624e-05 | 4.87957 |
外周 #2 | 24592.5 | 24507.1 | 2.44636e-05 | 4.8451 |
外周 #3 | 24461.4 | 24623.6 | 2.4455e-05 | 4.85102 |
赤:test03 対向板を少しずらして取付け
緑:test04 対向板を真ん中の位置に戻す
今度は対向板の位置をずらして取付けました。
ずらして取付けるとカウント値が変化するので、同じ範囲になるよう調整をしました。
うねり等の振る舞いは変わらないので、対向板の真ん中にセンサヘッドがある場合と無い場合とでは、カウント値が変化する以外の差はないようです。