ダミー鏡とホイフルツリーとの間にテフロンシートを挟んだまま。 外周1番のアクチュエータをつけ直しました。
パルス位置60万 試験1 パルス位置60万 試験2,3,4 パルス位置50万 試験2,3,4 パルス位置40万 試験2,3,4 パルス位置30万 試験2,3,4 パルス位置20万 試験2,3,4 パルス位置10万 試験2,3,4
上の方でのへたりはなくなりました。