エッジセンサとPSF
内周アクチュエータセンサと外周アクチュエータセンサ
赤色:CH1、緑色:CH2、青色:CH2
続いて12時間モニターをすると次のようになりました。
赤色:フィードバックあり
下段は温度
内周アクチュエータセンサと外周アクチュエータセンサ
赤色:CH1、緑色:CH2、青色:CH2
温度補正をかけた分、1度あたりの温度変化に対するエッジセンサのカウント値の変化量が大体半分に(〜0.4 % => 〜0.2 %)改善されました。