パルス位置60万 試験1
パルス位置60万 試験2,3,4
パルス位置50万 試験2,3,4
パルス位置40万 試験2,3,4
パルス位置30万 試験2,3,4
パルス位置20万 試験2,3,4
パルス位置10万 試験2,3,4
3番センサのの対向板が固定治具のねじと接触しています。
パルス位置30万のときに3番センサ、パルス位置10万-1000パルス駆動のときに1番センサのノイズが高くなっています。
内周3番センサも同じ時にノイズが高くなっているので干渉したのかもしれません。