挙動が変化した様子はなさそう。 ※パルス位置40万、1000パルス駆動試験の途中でアクチュエータセンサのカウント値が変わっていないのは、バッファの更新がされなかったからか。 パルス位置60万、フルストローク駆動と、パルス位置10万、1000パルス試験で外縁部センサがサチってしまった。(一旦カウントが上って下がるのは不明だが…。対向板とセンサヘッドが平行についていない為か?) パルス位置10万、1000パルス試験だけやり直すと以下のようになった。