アクチュエータ制御実験 5 試験10
鏡:20度
パルス位置60万 試験1
パルス位置60万 試験2,3,4
パルス位置50万 試験2,3,4
パルス位置40万 試験2,3,4
パルス位置30万 試験2,3,4
パルス位置20万 試験2,3,4
パルス位置10万 試験2,3,4
ダイヤルゲージに見られた『50um毎に緩急のついた』動きは鏡には見られない。
パルス位置30万、1000パルス駆動で、-20000パルスの位置で何回かバンプが見られているがたまたまか?
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