アクチュエータ制御実験　5 試験5

鏡：20度

傾けた時に1番のカウント値が53500=>53800に上昇した。
概ね傾けないときと傾向が同じだが、パルス位置10万、1000パルス駆動のときだけ2番センサのpulse-count関係が上に凸になっている。
ダイヤルゲージの値は10um外縁側に動いていた。