レーザー変位計
(株)キーエンス
のレーザー変位計
LK-G10
(分解能10nm) を購入した。
アクチュエータ軸に取り付けたところ
その後、上昇時/下降時の全体の歪みの違いの影響を避けるため、シグマ光機センサの位置を付け替え。
iwamuro@kusastro.kyoto-u.ac.jp