主鏡 FEM 解析3 |
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メニスカスセグメント鏡の FEM による変形解析を行なった。
3D 図面は AutoCAD2000 で作成し、Autodesk Inventor 9 で変換(solid => parts)、
Design Space 9 で FEM 計算をした。
鏡の材質は クリアセラム-Z HS を用いた。
セグメント形状
| 概形 | 変形 | 備考 |
|---|---|---|
 |  | 内周セグメント 9点支持 パッド直径100mm ほぼ全面が20nm 以下 |
 |  | 外周セグメント 9点支持 パッド直径100mm かなりが 20nm 以下だが エッジ部分の変形大 |
 |  | 内周セグメント 27点支持 パッド直径60mm ほぼ全面が 5nm 以下 |
 |  | 外周セグメント 27点支持 パッド直径60mm ほぼ全面が 5nm 以下 |
 |  | 内周セグメント 27点支持 支持点の反力分布を ほぼ一定にした パッド直径60mm ほぼ全面が 3nm 以下 CAD 図面 |
 |  | 外周セグメント 27点支持 支持点の反力分布を ほぼ一定にした パッド直径60mm ほぼ全面が 3nm 以下 CAD 図面 |
 | 内周セグメント パッド直径20mm ほぼ全面が 6nm 以下 | |
 | 内周セグメント パッド直径10mm ほぼ全面が 7nm 以下 | |
 | 内周セグメント パッド直径 4mm ほぼ全面が 8nm 以下 |
反力分布 (最大値 / 最小値)
支持点は外周より円弧方向に沿って番号付けしたもの。
計算結果に対称性があまりないので、細かい数値は余り意味が無さそうだが...
| 支持点 No. | 内周ミラー | 外周ミラー |
|---|---|---|
| 01 | 27.397 N | 28.152 N |
| 02 | 26.889 N | 27.117 N |
| 03 | 27.456 N | 27.909 N |
| 04 | 26.695 N | 27.343 N |
| 05 | 26.713 N | 26.463 N |
| 06 | 27.520 N | 29.178 N |
| 07 | 26.101 N | 27.587 N |
| 08 | 26.791 N | 28.007 N |
| 09 | 26.561 N | 26.672 N |
| 10 | 27.758 N | 27.479 N |
| 11 | 28.792 N | 28.358 N |
| 12 | 29.222 N | 27.230 N |
| 13 | 28.271 N | 27.595 N |
| 14 | 27.837 N | 26.572 N |
| 15 | 28.082 N | 26.511 N |
| 16 | 25.884 N | 26.203 N |
| 17 | 26.912 N | 27.475 N |
| 18 | 25.958 N | 27.431 N |
| 19 | 27.527 N | 27.908 N |
| 20 | 26.738 N | 26.591 N |
| 21 | 28.650 N | 27.879 N |
| 22 | 28.047 N | 27.101 N |
| 23 | 27.143 N | 27.564 N |
| 24 | 25.746 N | 26.982 N |
| 25 | 27.315 N | 27.602 N |
| 26 | 25.905 N | 26.981 N |
| 27 | 26.204 N | 27.002 N |