主鏡 FEM 解析6


主鏡のラテラル方向の支持方法が妥当かどうかを検証した。

現在予定している方法は、主鏡背面の支持パッドを横方向に引き上げて支えるものだが、この方法だと全体に回転トルクが発生するため、背面の支持圧の分布が変化し、鏡全体に曲げの力が発生する。

この力による鏡の変形量を FEM で評価した。手順以下の通り。

その結果、鏡面が0.9μm変形することがわかった。ラテラル支持方法は再考の必要がある。

条件背面鏡面備考
右上方向が下
3本目の棒は関係なし
若干の非対称性あり
(計算順と思われる)


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