分割鏡支持システムの開発4 |
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デジタルセンサの原理(シグマ光機社のページ)
発振回路参考ページ
下図のように、2つのセンサをペアで使い、ベースの相対位置変化によりそれぞれのセンサの測定するギャップが逆方向に変動するするようにする。2つのセンサの読み出し値の差の半分を測定値とすれば、同じ方向の特性変化の成分はキャンセルされるはず。片方のギャップが広く、もう一方が狭くなるに従い、分解能の差が大きくなるのが問題かも。
片方のセンサにだけジャンプが生じた際に、困ることには変りないが...
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