FMOS Schmidt Plate の測定 7

http://www.kusastro.kyoto-u.ac.jp/~iwamuro/FMOS/SCHMIDT/schmidt7.html

FMOS 分光器用の Schmidt Plate について

形状
280mm x 236mm x 厚さ33mm, 6次の軸外し非球面 (詳細)

製作
(株)ナガセインテグレックスにて切削加工
(前回 x と y を取り違えて作られたものの再加工)

測定日
2005年4月28日 10:00 - 15:00

使用機器
国立天文台開発実験センターの三鷹光器 NH-3SN (非接触3次元測定器) を使用

測定内容
測定対象の大きさが 280mm x 236mm であるのに対し、NH-3 は最大 150mm x 150mm の範囲しか scan できないため、中央と周辺部 5mm 内側までの範囲5個所について 140mm x 140mm の範囲を 10mm step で scan し、更に中央付近を詳細に scan した。

結果

結果一覧
「傾き除去」の表示スケールのみ ±1μm(測定1〜5)または ±0.5μm(測定6〜9)で固定。
測定場所
・範囲
単位: mm		測定結果設計値
(左右反転)		差傾き除去解析結果
・備考
単位: μm
測定1
　(中央)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.4194
Min:-1.152
Max:+0.9308
1μm程度の
盛り上がり
測定2
　(左上)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.4832
Min:-0.9308
Max:+1.251
1μm強の
うねり
測定3
　(左下)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.374
Min:-0.7248
Max:+1.133
1μm強の
うねり
測定4
　(右上)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.4734
Min:-1.331
Max:+1.133
右端のダレは
やや大
測定5
　(右下)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.4545
Min:-0.885
Max:+1.022
右端のダレは
やや大
測定6
　(中央)
20mm□
Step: 1
Dim.:21x21		σ: 0.07159
Min:-0.4387
Max:+0.1411
測定7
　(中央)
2mm□
Step: 0.1
Dim.:21x21		σ: 0.04333
Min:-0.2213
Max:+0.1144
測定8
　(中央)
0.2mm□
Step: 0.01
Dim.:21x21		σ: 0.03347
Min:-0.1183
Max:+0.1335
測定9
　(中央)
0.02mm□
Step: 0.001
Dim.:21x21		σ: 0.04009
Min:-0.3319
Max:+0.09918

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