FMOS

FMOS Schmidt Plate の測定 6

http://www.kusastro.kyoto-u.ac.jp/~iwamuro/FMOS/SCHMIDT/schmidt6.html

FMOS 分光器用の特殊 Schmidt Plate について

形状

315mm x 251mm x 厚さ約80mm(傾斜角約15°), 6次の軸外し非球面平凹1枚

製作

理化学研究所にて ELID 加工
清原光学にて手作業で仕上げ研磨

測定日

2004年11月22日 10:00 - 12:00

使用機器

国立天文台開発実験センターの三鷹光器 NH-3SN (非接触3次元測定器) を使用

測定内容

前回と同様に測定面が研磨面であるため、2次元 scan はしないで 1mm step で 140mm を一次元 scan した。3つのサンプル全てで y=-70,0,+70mm で左右2つの scan を行い、x=-70,0,+50 (測定器のスペースの都合上 x=+70 は不可) で縦方向の scan を行った(下図)。

また、表面荒さを測定するため、中央を横方向に 0.005mm step で 20mm scan を行った。全て「詳細測定モード」で測定し、対物レンズは 100倍のみを使用した。

結果

加工面の形状精度(1σ)は凹面～1.5μm(測定 1-3)
加工面の表面荒さ(1σ)は凹面～0.2μm(測定 4)。

結果一覧

測定内容

解析結果(Click で拡大)

測定1-3 (140mm, 1mm step)

青：y=-70mm 水：y=　0mm 緑：y=+70mm	測定1(左側) σ：2.06885μm x,y：-73.7mm, -2.1mm θ_x,θ_y：-15.076°,+0.001°
青：y=-70mm 水：y=　0mm 緑：y=+70mm	測定2(右側) σ：0.871758μm x,y：+67.0mm, -2.2mm θ_x,θ_y：-15.092°,-0.027°
黄：x=-70mm 桃：x=　0mm 赤：x=+50mm	測定3　 σ：1.41222μm x,y：-4.0mm, -1.2mm θ_x,θ_y：-15.092°,-0.027°

測定4 (20mm, 0.005mm step)

青：詳細測定モード

測定4 σ：0.178991μm
x,y：0mm, +0.9mm
θ_x,θ_y：-14.914°,-0.200°

iwamuro@kusastro.kyoto-u.ac.jp

FMOS Schmidt Plate の測定 6