FMOS Schmidt Plate の測定 5

http://www.kusastro.kyoto-u.ac.jp/~iwamuro/FMOS/SCHMIDT/schmidt5.html

FMOS 分光器用の Schmidt Plate について

形状
280mm x 236mm x 厚さ33mm, 6次の軸外し非球面 (詳細)

製作
(株)ナガセインテグレックスにて切削加工

測定日
2004年11月22日 13:30 - 17:00

使用機器
国立天文台開発実験センターの三鷹光器 NH-3SN (非接触3次元測定器) を使用

測定内容
測定対象の大きさが 280mm x 236mm であるのに対し、NH-3 は最大 150mm x 150mm の範囲しか scan できないため、中央と周辺部 5mm 内側までの範囲5個所について 140mm x 140mm の範囲を 10mm step で scan し、更に中央付近を詳細に scan した(今回の報告では割愛)。

結果

結果一覧
「傾き除去」の表示スケールのみ ±1μm で固定。
測定場所
・範囲
単位: mm		測定結果設計値
(xy 交換)		差傾き除去解析結果
・備考
単位: μm
測定1
　(中央)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.4241
Min:-1.190
Max:+1.186
測定2
　(左上)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.2200
Min:-0.6638
Max:+0.6371
測定3
　(左下)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.2947
Min:-0.9193
Max:+0.8049
測定4
　(右上)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.5278
Min:-1.026
Max:+1.381
測定5
　(右下)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.4931
Min:-1.045
Max:+1.328

iwamuro@kusastro.kyoto-u.ac.jp