FMOS Schmidt Plate の測定 1

http://www.kusastro.kyoto-u.ac.jp/~iwamuro/FMOS/SCHMIDT/schmidt1.html

FMOS 分光器用の Schmidt Plate について

形状
280mm x 236mm x 厚さ33mm, 6次の軸外し非球面 (詳細)

製作
(株)ナガセインテグレックスにて切削加工

測定日
2003年12月17日 11:30 - 17:00

使用機器
国立天文台開発実験センターの三鷹光器 NH-3SN (非接触3次元測定器) を使用

測定内容
測定対象の大きさが 280mm x 236mm であるのに対し、NH-3 は最大 150mm x 150mm の範囲しか scan できないため、中央と周辺部 5mm 内側までの範囲5個所について 140mm x 140mm の範囲を 10mm step で scan し、更に中央付近を詳細に scan した。

結果

結果一覧
「傾き除去」の表示スケールは Step: 10mm の場合は±1μm、それ以下の Step の場合は±0.5μm で固定
「測定結果」は 0.1mm 単位で「解析結果」のσが最小となる場所に合わせたが、回転の微調はしていない。
測定場所
・範囲
単位: mm		測定結果設計値差傾き除去解析結果
・備考
単位: μm
測定1
　(中央)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.2139
Min:-0.6313
Max:+0.4787
測定2
　(左上)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.254
Min:-0.8984
Max:+0.5894
左端にダレ ?
測定3
　(左下)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.3334
Min:-1.108
Max:+0.5703
左端にダレ ?
測定4
　(右上)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.3825
Min:-0.9899
Max:+0.8392
右側に溝 ?
測定5
　(右下)
140mm□
Step: 10
Dim.:15x15		σ: 0.3392
Min:-0.9937
Max:+0.7038
右側に溝 ?
測定6
　(中央)
10mm□
Step: 1
Dim.:11x11		σ: 0.1033
Min:-0.3338
Max:+0.3433
測定7
　(中央)
2mm□
Step: 0.1
Dim.:21x21		σ: 0.09857
Min:-0.3357
Max:+0.4311
測定8
　(中央)
0.2mm□
Step: 0.01
Dim.:21x21		σ: 0.1075
Min:-0.6046
Max:+0.3948
測定9
　(中央)
0.2mm□
Step: 0.01
Dim.:21x21		σ: 0.1033
Min:-0.4387
Max:+0.3872
測定8繰り返し
測定8-9
　(中央)
0.2mm□
Step: 0.01
Dim.:21x21		精度測定のための作業σ: 0.07974
Min:-0.474
Max:+0.313
√2 で割ると
σ: 0.05638
測定10
(裏面中央)
100mm□
Step: 10
Dim.:11x11		平面2 column 目と同じσ: 0.3799
Min:-0.6561
Max:+0.9918
真中に凹み
測定11
(裏面中央)
10mm□
Step: 1
Dim.:11x11		平面2 column 目と同じσ: 0.06798
Min:-0.1373
Max:+0.1888
ほぼ測定限界
測定12
(裏面中央)
2mm□
Step: 0.1
Dim.:21x21		平面2 column 目と同じσ: 0.06764
Min:-0.7973
Max:+0.1526
ほぼ測定限界
測定13
(裏面中央)
0.2mm□
Step: 0.01
Dim.:21x21		平面2 column 目と同じσ: 0.05756
Min:-0.1583
Max:+0.3529
ほぼ測定限界
測定14
(裏面中央)
0.2mm□
Step: 0.01
Dim.:21x21		平面2 column 目と同じσ: 0.06287
Min:-0.1945
Max:+0.2899
ほぼ測定限界
測定13-14
(裏面中央)
0.2mm□
Step: 0.01
Dim.:21x21		精度測定のための作業σ: 0.07897
Min:-0.249
Max:+0.213
√2 で割ると
σ: 0.05584

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