典型的な移動パターン 水平状態：フルストローク移動 → 修正最大3μm → 位置ずれ1μm以下 傾き状態：フルストローク移動 → 修正最大10μm → 位置ずれ1μm以下
Limit 位置： ソフトリミット ±5.02mm フォトセンサ ±5.1〜5.2mm ハードリミット ±5.8〜6.2mm エンコーダ参照点 ＋4.17mm の位置
