ハーフミラーホルダ

位相カメラに光を返すため、主鏡上に取り付けるもの。
15mm□の窓が中心間隔30mmで２つ並んでいる。
足に使っているネジはシグマ光機のファインピッチスクリューの特注品で、
先端のボールを外したもので、先端にネオジム磁石球を接着している。
ピッチ250μm。

CAD 図面

内部のハーフミラーは、1mmΦ 鋼球３つで支持。ホルダーの変形は
0.1μm あるが、内部の鏡は傾くだけで３点支持による変形は 15nm。

I-Fizeau での測定結果。左の列はホルダーを水平に置いた状態。
右の列はホルダーを垂直壁にひっつけた状態。
どちらも中央付近が 0.1λ (60nm) 程度盛り上がっているが、
丸い基盤をカットしたために反ったものと考えられる。
縦横での自重変形による変化は検出できなかった。