分割鏡支持システムの開発

開発目標：

システムのブロック図：
　リニアアクチュエータ＋10:1 無間接てこ
　非接触センサで駆動量確認
　コンパクトPCIバス上のボードPCで制御
　ホストPC上でソフト開発


リニアアクチュエータ(分解能 69nm)と非接触センサ
てこ機構3D図面


制御試験台
てこ機構写真(ケーブルの先が非接触センサ)

非接触センサの位置 100μm おきに制御パルスと駆動量の関係を調べた。
(図では 1μmずつずらして表示)

現在は、非接触センサの値を付属制御ラック上の ADC で変換した値を参照しているが、
0.1μm の桁までしか出力されないので、階段状のグラフとなっている。
(今後、DC 出力を 16bit ADC で変換してもう一桁下まで読み出す予定)

これまでの測定では、ほぼ 620 pulse/μm となっており、62 pulse おきに非接触センサが
0.1μm ずつ増加する。62 pulse 分ずつの平均と 620 pulse/μm のずれを図下に表示。
位置が異なるにも関わらず同様な傾向が見られる原因は現在調査中。

今後の予定：

iwamuro@kusastro.kyoto-u.ac.jp